水汽深冷捕集泵 Vapor Polycooler ◎应用原理 在高真空环境中都存在着一定的残余气体, 65%~95%是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽, 但机械泵抽除残余气体的能力差, 时间长,而且残余气体是典型的副作用的污染 气体,是工件的污染源,从而使产品的产量和质量 受到影响。Vapor Polycooler水汽深冷捕集泵则是解决 这类问题的上佳选择。 Vapor Polycooler的工作原理:将一个-100℃以下的低 温盘管, 放置在真空室中或油扩散泵的泵口,通过其表面 的低温冷凝效应, 迅速捕集真空系统的残余气体,从而大大缩短抽 真空的时间(可缩短25%-75%的抽气时间)、获 得洁净的真空环境,提高产品的产量和 质量,获得更高的商品价值。 Vapor Polycooler是一个低温制冷系统,通过在低温表 面的低温冷凝效应来捕集挥发性分子。主要用于开高 真空阀后捕集真空腔内 的水汽,快速制冷和除霜,也用于返油很小化控制。 VPC-3500 ◎产品优点 ?温度可达到-120℃~-145℃。(可到-165℃) ?多种型号,很大的制冷量可达到3500W。 ?较快的水汽抽速为250,000L/s,真空可达到1.5*10-12torr。 ?快速捕集水汽、油蒸汽,在高真空系统中可缩短25%-75%的抽 气时间,提高真空系统生产能力约20%到**。 ?改善镀膜的品质,提高薄膜的附着力和多层镀膜能力。 ?8路温度显示和监控,包括负载的入口和出口、本机内部多级制 冷、排气、冷却水等温度。 ?6组安全保护,包括温度、压力、电源相序及过载等。 ?国际制冷压缩机,环保混合型制冷剂,高效可靠。 ?完善的自动化控制,本地、远程可选,带RS485通信. ?一台机器可带2路负载输出,满足用户的不同需求. ◎6组安全保护 ?排气压力过低 ?排气压力过高 ?排气温度过高 ?冷凝温度过高或过低 ?制冷机过载或过热 ?电源相序异常 VPC系列水汽深冷泵,运用自有的核心技术,成熟的设计方案,所**型采用单台压缩机,环保混合制冷剂,自动复叠制冷,制冷速度快、效率高、温度低、维护方便。 我们提供完整的冷却方案,帮助客户减少生产费用,改进制程表现,提高工作场所安全和增加生产可靠性。可替代液氮,节约成本。在实际应用当中,根据所放的位置不同可以 分为两类: 1、低温盘管 CryoCoil 低温盘管一般装在真空室内,或高阀与真空室之间,适用于镀膜材料放气量较大的场合.低温盘管同时具备加热除霜功能,使低温盘管在每次开门之前恢复到常温,有利于下次抽真空。 2、低温挡板 CryoBaffle 装在扩散泵上方,主要功能是防止油扩散泵的油气返流,同时也可以抽除水汽,提高真空度。 ◎基本应用 ?在光学镀膜、卷绕镀膜等各种功能镀膜或装饰镀膜系统,可以用于真空室内抽吸水汽,也可以用于冷阱等冷却装置防止扩散泵返油。 型号 单位 VPC-300 VPC-1200 VPC-1800 VPC-3500 VPC-1200LT 制冷量 W 300 1200 1800 3500 420 工作温度 ℃ -90~-135 -100~-145 -100~-145 -100~-145 -120~-165 水汽补集速度 I/sec 18000 74000 104000 250000 37250 极限真空度 torr 2×10-8 2×10-9 2×10-9 1.5×10-9 4×10-12 低温盘管面积 m2 0.1 0.5 1.0 2.0 0.25 低温盘管外径 mm ф10 ф12 ф16 ф16 ф10 低温盘管长度 m 4 12 14 40 8 预冷时间 min ≤30 ≤30 ≤30 ≤40 ≤40 除霜时间 min N/A ≤4 ≤4 ≤4 ≤4 冷却方式 风冷 水 冷 (水 温 t ≤30 ℃) 冷却水接口 inch N/A 1/2 1/2 3/4 1/2 电源要求 V/P/Hz kW 220/1/50 2.5 380/3/50 6.5 380/3/50 8.5 380/3/50 11.6 380/3/50 11.2 外形尺寸 Wmm Dmm H mm 500 550 1200 750 900 1650 750 920 1650 920 750 1700 750 920 1750 ?按需要,低温盘管和低温挡板,可以分别装.也可以同时装。 ?按需要,客户可以定制不同形状的低温盘管和低温挡板。